对位平台就是一种利用XY向的移动单元加上θ角的微量转向,达到两个工作物体的组合。
其作法有
1.XYθ 对位平台:就是以一组X,一组Y向的模组,叠加起来,在上方安置一个旋转机构,成为一个XYθ对位平台,一般精度比较低。
2.UVW 对位平台: 就是以两组X电动模组,一组Y向的电动模组,叠加起来,在上方安置一个电动旋转机构,成为一个UVW对位平台,精度比前者要高。
3.XXY 对位平台:就是二个X轴向电动模组,以及一个Y轴向模电动组加上一个自由轴模组组成的XXY对位平台,他可以利用个轴模组内加装的转盘,在XXY軸同動時產生出θ角的微量旋转,精度相当的高。
4.XXYY 对位平台:顾名思义就是二个X轴向电动模组,以及二个Y轴向电动模组组成的XXYY对位平台,精度,对位速度,机体的刚性都是相对上项各种产品中最高,制造难度也最大的。
对位平台最早是源自于德国,采用的方式是用pin针拨动有着磁力开关的frame,让上方不动的玻璃得以和下方的框架结合,到了日本则被改为以电的三向UVW来命名的UVW平台,然后以此为蓝本,工程师再将其缩小,并大大的降低了高度,组合出了现在常看到的XXY形式的对位平台。原始的磁力开关也进化到以导轨甚或交叉导轨组装的单体模组,以及由三轴电机甚或四轴电机带动的高精度对位平台。
操作:1、获取三组以上,且不同线的X方向和Y方向的预设平移量后,校准uvw平台的方法根据所述对应关系和所述预设平移量,确定所述各个工作轴的第一移动量,并控制所述各个工作轴 根据所述第一移动量进行移动,实现平移;
2、根据中标记点在平移前后的平台坐标变化量和图像坐标变化量,计算第 一类型参数,其中,所述第一类型参数包括:图像坐标系在X方向的分辨率Rx、图像坐标系 在Y方向的分辨率R Y,以及图像坐标系和平台坐标系之间的夹角ω ;
3、获取预设的旋转角度α后,根据所述对应关系和所述旋转角度α,确定所述UVW 平台中各个工作轴的第二移动量,并控制所述各个工作轴根据所述第二移动量进行移动, 实现旋转;
4、根据所述第一类型参数、第二类型参数和uvw平台在旋转前,所述标记点的图像坐标 (X。,y〇),获取所述在移动过程中,所述标记点的图像坐标系和平台坐标系之间的 映射关系,所述映射关系为:其中,(x,Y)为所述标记点在移动过程中的平台坐标,(x,y)为所述标记点在移动过程 中的图像坐标。
5、旋转平移单元,用于根据所述旋转角度β,以及与所述旋转角度β相对应的平移量, 控制进行相应的旋转和平移; 第二计算单元,用于设定所述标记点在旋转和平移前的第二平台坐标为(xK,Yk),根据 所述标记点的第一平台坐标(X1,Y1)、标记点在旋转和平移前的图像坐标(XK,yK)、标记点 在旋转和平移后的图像坐标以及所述第一类型参数,计算所述第二平台坐标 (Xe,Yr);
6、判断单元,用于判断所述第二平台坐标(XK,Yk)和第一平台坐标(XpY1)之间的差值是 否在预设范围内,若是,确定所述第二平台坐标(XK,Yk)为uvw平台在旋转前,所述标记点的 平台坐标(Xtl,Ytl),若否。
7、设定所述第二平台坐标(XK,Yk)作为第一平台坐标(X1,Y1),并重新 获取其他预设的旋转角度,并设定所述其他预设的旋转角度为旋转角度β,返回由所述平 移量获取单元执行操作。
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